Requisiti per le camere bianche nell'industria dei semiconduttori

I requisiti per le camere bianche nell'industria dei semiconduttori sono i seguenti:
1. Elevati requisiti di pulizia
La produzione di semiconduttori richiede un ambiente estremamente pulito. La pulizia dell'aria nelle camere bianche varia a seconda dei requisiti dei diversi processi dei semiconduttori, generalmente soddisfacendo gli standard di Classe 1 (pari o inferiore a 1 particella da 0,1 micron per piede cubo) a Classe 100 (pari o inferiore a 100 particelle da 0,5 micron per piede cubo).
2. Controllo accurato della temperatura e dell'umidità
I materiali semiconduttori sono altamente sensibili alla temperatura e all'umidità. La camera bianca deve essere rigorosamente controllata a 20-25 °C, con un intervallo di umidità relativa del 40-60% e fluttuazioni non superiori a ± 1 °C e ± 5% UR.
3. Alimentazione e distribuzione di energia affidabili e stabili
La camera bianca richiede un sistema dedicato di alimentazione e distribuzione di energia per fornire un'alimentazione stabile e ridondante, garantendo il funzionamento normale e ininterrotto delle apparecchiature di processo. Allo stesso tempo, è necessario disporre di funzioni di protezione e filtraggio per prevenire interferenze di alimentazione.
4. Flusso ragionevole di aria priva di polvere
Le camere bianche devono essere dotate di sistemi di filtrazione e circolazione dell'aria privi di polvere per garantire una distribuzione ragionevole del flusso d'aria e l'assenza di angoli morti, in modo che l'aria pulita possa raggiungere completamente ogni angolo. Anche la velocità del flusso d'aria e la pressione dell'aria devono essere rigorosamente controllate per impedire all'aria esterna di rifluire o disturbare.
5. Progettazione antisismica completa
Considerando i requisiti di stabilità dei processi dei semiconduttori, le camere bianche di solito devono adottare misure resistenti agli urti per ridurre l'impatto delle vibrazioni esterne sul processo. Le fondamenta devono essere sufficientemente stabili e dotate di dispositivi di ammortizzazione.
6. La selezione dei materiali è priva di polvere e priva di inquinamento
Il materiale superficiale della camera bianca deve essere privo di polvere e privo di inquinamento e non produrrà particelle. L'acciaio inossidabile, le lastre di alluminio, il vetro temperato e altri materiali sono comunemente usati. È necessario installare una barriera d'aria all'ingresso per impedire l'ingresso di polvere.